行星齒輪傳動裝置總重量，一般情況下與齒輪的重量成正比，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度又有很強的關聯。例如，在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調質齒輪重量的1/3左右。所以針對行星齒輪減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，應該廣泛采用硬齒面齒輪。
眾所周知，獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮。誠然，這些方法根據行星齒輪減速機的特點考慮選定。下面簡單分析一下行星減速機內部齒輪的熱處理方法。
1、表面淬火
常見的表面淬火方法有高頻淬火和火焰淬火兩種，對小尺寸齒輪采用前者，對大尺寸齒輪采用后者。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，效果最 好。表面淬火齒面硬度可達洛氏硬度45~55。
2、滲碳淬火
結果滲碳淬火后的齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度。
滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58~62HRC。若低于57HRC時，齒面強度顯著下降，高于62HRC時則脆性會增加。齒輪心部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火后的齒輪硬度，有效滲碳深度規定為表面至硬度52.5HRC處的深度。
滲碳淬火除了使齒輪心部硬度有所提高外，還可使齒輪最 大拉應力區的應力減小。因此磨齒時不能磨齒根部分，滾齒時要用留磨量以便滾刀。
3、滲氮
滲氮可保證齒輪在變形很小的條件下達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進行最后的精加工，提高齒輪承載能力。
4、嚙合齒輪的硬度組合
當大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。而當兩輪均為硬齒面且硬度較高時，則取兩輪硬度相同。
選擇好的行星齒輪減速機材料，有利于提高行星齒輪減速機的承載力及使用壽命，比如紐格爾。
